CCD对位用X-Y-θ高精度工作台

HEPHAIST超薄型X-Y-θ (调整)平台；

将功能凝聚于超薄机身，具有“超薄型构造简单”、“高刚性”、“高精度”等特点；

滑动部分采用的构造是通过上下2板面将中间板面夹住的“预压型双滑动”构造；

在各板之间装有多个滚珠，实现了平稳滚动运动；

而且由于3个传动装置安装在同一平面上，因此，实现了低重心、超薄的简单构造。对装置的小型化做出了贡献。

 注：此工作台的结构采用专利技术，且因为有中间承载部份，所以其承载力强，运行平稳。与其它同类产品相比（其它同类产品均无中间承载结构），具有运行平稳，高承载，高刚性，工作面跳动小，长期使用精度稳定等特性。

1、超薄型结构设计；

2、高精度定位；

3、高刚性，大承载，增加设备稳定性；

4、节省安装空间，使设备小型化成为可能；

5、超低重心设计，最大限度减小产品生产时的偏移量；

丝网印刷设备(片状部件、PCB电路板、FPC电路板)；

面板贴合、贴装装置(LCD、EL、触摸面板、太阳能电池)；

曝光机(片状部件、PCB电路板、FPC电路板)；

探测器检测装置(PCB电路板、水晶设备、电子部件、FPD亮灯检测)；

等，需高精度、快速、稳定对位的应用。

特殊应用：高速搬运、使用天吊等。

 尺寸图

 

型号	H	H1	H2	L	B	Z	W	A1	T1
NAF3C-10	35	6	6	120	110	4-5.5キリ φ8深座グリ深サ4.4	100	20	4-M2深6
NAF3C-16	45	8	10	170	150	4-5.5キリ φ9.5深座グリ深サ5.4	160	60	4-M4深6
NAF3C-20
NAF3C-30
NAF3C-40	80	15	15	400	370	4-9キリ φ14深座グリ深サ8.6	400	210	4-M6深15

型号	A2	T2	A3	T3	A4	T4	φD	M
NAF3C-10	60	4-M3深6	90	4-M4深6	ー	ー	ー	ー
NAF3C-16	90	4-M4深8	110	4-M5深8	150	4-M5深8	20	ー
NAF3C-20
NAF3C-30
NAF3C-40	280	4-M6深15	330	4-M8深15	380	4-M8深15	100	ー

  相关参数

	型号	NAF3A-01	NAF3A-02
机械 参数	行程	X軸:±3mm　Y軸:±3mm θ軸:±3°	X軸:±5mm　Y軸:±5mm θ軸:±3°
	台面尺寸	125mm x 125mm	200mm x 200mm
	底座尺寸	260mm x 260mm	350mm x 350mm
	高度	60mm	60mm
	配套电机	步进电机 （□28mm）	步进电机 （□42mm）
	材质	钢：低温镀铬发黑处理 铝合金：阳极氧化发黑处理
	重量	15kg	35kg
精度 参数	分辨率(出厂设定值)	0.2μm/pulse
	双向重复定位精度	±0.7μm以内	±0.7μm以内
	无效运动	1.0μm以内	1.0μm以内
	静载荷 (垂直方向等分布荷重)	500N	1000N
	动载荷 (垂直方向等分布荷重)	100N	500N
	工作面与底面平行度	30μm以内

 尺寸图

型号	H	H1	H2	L	B	Z	W	A1	T1
NAF3A-01	60	24	12	260	230	4-6.6キリ φ11深座グリ深サ6.5	125	100	4-M6深10
NAF3A-02	60	10	15	350	330	4-9キリ φ14深座グリ深サ8.6	200	180	4-M6深10

型号	A2	T2	A3	T3	A4	T4	φD	M
NAF3A-01	ー	ー	ー	ー	ー	ー	40	26
NAF3A-02	ー	ー	ー	ー	ー	ー	60	33

  新的水平高刚性、高精度制品

    在XYθ对位过程中，精度和刚性越来越受到重视。而且随着台面的扩大，也给这类产品的商业化带来了挑战。

    对此，我们在原有产品的基础之上，对其结构进行了优化。使其具有更高的刚性和定位精度。

 特点

高刚性

    在底面的每个方向均装有执行机构，形成4轴驱动。弥补了原有的3轴驱动方案中，水平方向横向刚性稍弱的缺点。使产品在各个方向均具有高刚性！

高精度

    4套执行机构使X、Y方向均有2套执行机构驱动，使得X、Y各方向的运动精度均能保持一致。最大限度的保证了定位精度，使获得更高精度成为可能。（原有的3轴驱动产品，在单轴驱动的X方向，运动时会偏离表面中心，造成了一定的精度损失。且限制了更高精度的应用。）

 结构原理

     X、Y方向各有2套执行机构驱动其运动。且两套执行机构的相反运动产生了X或Y方向上的运动。可以起到一定的消除间隙的作用。4轴同时动作，使台面旋转运动。

    有效的提高了产品运动中的各方向的刚性及定位精度。更加适合要求更高刚性、更高精度的应用。